Kính hiển vi quang học là kính hiển vi giao thoa ánh sáng trắng 3D với độ phân giải dọc cao 0,01nm bất kể độ phóng đại của ống kính. Do khả năng đo cấu hình bề mặt nano bằng thấu kính có độ phóng đại thấp nên nó có thể thực hiện phép đo phạm vi rộng, tốc độ cao trong một lần chụp. Độ nhám bề mặt dưới nano, các vật thể trong suốt và cấu trúc có tỷ lệ khung hình cao không thể đo được bằng kính hiển vi laze hoặc các dụng cụ đo không tiếp xúc khác có thể được đo bằng Opt-scope với độ lặp lại cao.