Sự kết hợp của nhiều loại nhóm thấu kính khác nhau cho phép đo lường phù hợp nhất với phôi và mục đích đo (mẫu R).

Nó thực hiện phép đo liên tục tại nhiều vị trí bất kỳ theo trình tự bất kỳ với bước điện ± 25 mm hoặc ± 50 mm.
Chức năng khâu mở rộng thêm phạm vi đo ngoài trường ảnh của thấu kính giao thoa.

Phạm vi lựa chọn với độ phân giải cao 0,01 nm.
Nó có thể được sử dụng cho một loạt các ứng dụng từ phân tích độ nhám mịn trong các lĩnh vực hẹp đến phân tích nhấp nhô trong các lĩnh vực rộng.
Đánh giá 3D không tiếp xúc của phôi trên toàn bộ bề mặt với thời gian giảm.

Kính hiển vi giao thoa kế ánh sáng trắng hiện có kém trong việc thu thập rõ ràng dữ liệu biên dạng trên các thành phần được gia công. Thuật toán ban đầu của chúng tôi giải quyết vấn đề này và mở rộng phạm vi của các phôi có thể đo lường như bề mặt được mài nhiều, cấu hình vi mô của MEMS và các thành phần tự động được gia công.