Số 1 thế giới về độ chính xác cao nhất, tốc độ cao nhất và độ phân giải cao nhất. Mô hình hàng đầu cho SURFCOM để đạt được mức độ hoàn hảo cuối cùng với bộ truyền động động cơ tuyến tính hoàn toàn mới làm máy chính
Giao thoa kế Laser đường dẫn quang có độ ổn định cao
-
Máy đo này sử dụng giao thoa kế laser dựa trên sợi quang, một trong những công nghệ cấu thành của Tokyo Seimitsu và kết hợp với giao thoa kế laser đường dẫn quang có độ ổn định cao mới được phát triển có độ phân giải 0,31 nm.
-
Hệ thống này có phạm vi động cũng như tỷ lệ phân giải 42.000.000: 1. Điều này có nghĩa là trong một dấu vết duy nhất, bạn có thể đánh giá các cấu hình đường viền trong phạm vi rộng và cả các bề mặt mịn ẩn.