Tính năng

Kính hiển vi quang học là kính hiển vi giao thoa ánh sáng trắng 3D với độ phân giải dọc cao 0,01nm bất kể độ phóng đại của ống kính. Do khả năng đo cấu hình bề mặt nano bằng thấu kính có độ phóng đại thấp nên nó có thể thực hiện phép đo phạm vi rộng, tốc độ cao trong một lần chụp. Độ nhám bề mặt dưới nano, các vật thể trong suốt và cấu trúc có tỷ lệ khung hình cao không thể đo được bằng kính hiển vi laze hoặc các dụng cụ đo không tiếp xúc khác có thể được đo bằng Opt-scope với độ lặp lại cao.

Opt-scope có một dòng cho các kích cỡ phôi khác nhau và có thể được tùy chỉnh theo yêu cầu

Opt-socpe có một đội hình theo kích thước mảnh công việc.
Loại tiêu chuẩn R với lựa chọn phạm vi truyền động vuông 25 mm và 50 mm cho bàn đạp điện XY, R200 vuông 200 mm
và loại Rex lớn đặc biệt có thể mở rộng từ vuông 400 mm đến tối đa 600 mm vuông đã được mới được thêm vào dòng sản phẩm. Nó có thể được sử dụng để đo chất bán dẫn, thiết bị sản xuất chất bán dẫn, khuôn mẫu, v.v., có nhiều phôi gia công lớn.

Tương quan cao với loại bút stylus

Tokyo Seimitsu đã bán máy đo độ nhám bề mặt loại bút stylus trong nhiều năm với tư cách là người dẫn đầu thị trường và Opt-scope có mối tương quan với kết quả đo loại bút stylus.

Tuân thủ các thông số kết cấu bề mặt 3D ISO 25178-2 và JIS B 0681-2

Là thành viên lâu năm của ISO/TC213, Tokyo Seimitsu đã tham gia vào việc phổ biến và thúc đẩy phép đo kết cấu bề mặt 3D.

Tốc độ quét tăng gấp 6 lần với Camera tốc độ cao tùy chọn

Hai tùy chọn chế độ theo yêu cầu về độ chính xác, làm cho chế độ tốc độ cao đạt được tốc độ cao hơn nữa.

Phân tích độ dày màng với chức năng đo màng đa lớp trong suốt

Đối với phim nhiều lớp có thể được xếp chồng lên tới 6 lớp trong suốt có chiều dài quang học từ 1,5 μm trở lên (7 giao diện). Chức năng này có thể phân tích kết cấu bề mặt của bề mặt trên cùng, độ dày màng sơn của từng lớp và phân bố độ dày màng sơn.

Đánh giá và Phân tích